EDS分析
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發(fā)布時(shí)間:2024-05-21 08:15:32 更新時(shí)間:2025-02-18 14:31:14
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EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是電子顯微鏡(掃描電鏡、透射電鏡)的重要附屬配套儀器,結(jié)合電子顯微鏡,能夠在1-3分鐘之內(nèi)對材料的微觀區(qū)域的元素分布進(jìn)行定性定量分析。
EDS的譜圖中譜峰代表樣品中存在的元素。定性分析是分析未知樣品的第一步,即鑒別所含的元素。如果不能正確地鑒別元素的種類,最后定量分析的精度就毫無意義。通常能夠可靠地鑒別出一個(gè)樣品的主要成分,但對于確定次要或微量元素,只有認(rèn)真地處理譜線干擾、失真和每個(gè)元素的譜線系等問題,才能做到準(zhǔn)確無誤。定性分析又分為自動(dòng)定性分析和手動(dòng)定性分析,其中自動(dòng)定性分析是根據(jù)能量位置來確定峰位,直接單擊“操作/定性分析”按鈕,即可在譜的每個(gè)峰位置顯示出相應(yīng)的元素符號。自動(dòng)定性分析識別速度快,但由于譜峰重疊干擾嚴(yán)重,會(huì)產(chǎn)生一定的誤差。
定量分析是通過X射線強(qiáng)度來獲取組成樣品材料的各種元素的濃度。根據(jù)實(shí)際情況,人們尋求并提出了測量未知樣品和標(biāo)樣的強(qiáng)度比方法,再把強(qiáng)度比經(jīng)過定量修正換算成濃度比。最廣泛使用的一種定量修正技術(shù)是ZAF修正。
在多數(shù)情況下是將電子束只打到試樣的某一點(diǎn)上,得到這一點(diǎn)的X射線譜和成分含量,稱為點(diǎn)分析方法。在近代的新型SEM中,大多可以獲得樣品某一區(qū)域的不同成分分布狀態(tài),即:用掃描觀察裝置,使電子束在試樣上做二維掃描,測量其特征X射線的強(qiáng)度,使與這個(gè)強(qiáng)度對應(yīng)的亮度變化與掃描信號同步在陰極射線管CRT上顯示出來,就得到特征X射線強(qiáng)度的二維分布的像。這種分析方法稱為元素的面分布分析方法,它是一種測量元素二維分布非常方便的方法。
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