三甲基鋁檢測
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發(fā)布時間:2025-07-25 08:49:03 更新時間:2025-07-25 08:00:41
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作者:中科光析科學技術研究所檢測中心

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在化合物半導體薄膜原材料的生產中,電子級三甲基鋁主要是作為化合物半導體沉積的鋁源。因此電子級三甲基鋁能夠用于生產發(fā)光二極管、激光二極管、晶體管高性能和高效率太陽能電池等電子產品。當然,三甲基鋁還可以用于硅半導體產業(yè)化學氣相沉積過程中。三甲基鋁是易燃液體,遇到空氣就會自然,而且遇水容易產生爆炸性反應,對人體有毒有害,中析研究所檢驗作為專業(yè)電子化學品檢測第三方機構,可提供電子級三甲基鋁的檢測服務。
電子級三甲基鋁測試標準為國家建議標準,標準名稱為GB/T36653-2018《電子級三甲基鋁》。GB/T36653-2018對三甲基鋁的檢驗規(guī)定基本上能夠歸為三個項目,就是三甲基鋁的純度、痕量元素金屬元素的檢測、氧和有機質的檢測。其中痕量元素金屬元素包括了銀、鋁、砷、硼、鋇、鈹、鉍、鈣、鎘、鈷、鉻、銅、鐵、鍺、汞、鎂、錳、鎳、鉛、硫、銻、硅、錫、鍶、鈦、釩、鋅等。而三甲基鋁的純度規(guī)定精確到99.99995%的級別。
電子級三甲基鋁的純度檢驗是通過排除法來計算的,就是通過排除硅元素、銅元素、鎂元素、鋅元素、鐵元素含量的萬分比來獲得最終的純度。金屬元素的檢驗首要應用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法來開展檢測。而有機雜質和氧,則通過低溫超導傅里葉變換核磁共振來檢測。
電子級三甲基鋁形態(tài)表現為無色液態(tài),含有明顯刺激氣味。如果與人體直接接觸,會對皮膚、研究呼吸系統產生明顯的刺激和腐蝕作用。因為是高危易燃危險化學品,因此三甲基鋁的存儲貨運,都需用獨特的鋼瓶罐體來包裝存放。
證書編號:241520345370
證書編號:CNAS L22006
證書編號:ISO9001-2024001
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