主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)

主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)是評(píng)估真空系統(tǒng)核心設(shè)備——主真空泵（如旋片泵、羅茨泵、分子泵或低溫泵等）性能的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)之一。抽氣時(shí)間是指真空系統(tǒng)或特定容積的真空室，在主泵的工作下，從某一初始?jí)毫Γㄍǔ榇髿鈮夯蚰硞€(gè)較高的起始?jí)毫Γ┏榻抵料到y(tǒng)要求的目標(biāo)工作壓力所需的時(shí)間。這項(xiàng)檢測(cè)直接關(guān)系到真空系統(tǒng)的啟動(dòng)效率、運(yùn)行成本以及能否滿足生產(chǎn)工藝對(duì)真空度和抽氣速度的要求。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、鍍膜、真空冶金、科研實(shí)驗(yàn)、醫(yī)療器械以及各類需要快速建立真空環(huán)境的工業(yè)領(lǐng)域。準(zhǔn)確測(cè)量主泵的抽氣時(shí)間，對(duì)于設(shè)備選型驗(yàn)證、日常維護(hù)保養(yǎng)、故障診斷以及系統(tǒng)效能優(yōu)化都具有極其重要的意義，是真空工程中不可或缺的基礎(chǔ)性測(cè)試環(huán)節(jié)。

檢測(cè)項(xiàng)目

主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)的核心項(xiàng)目包括：

• 總抽氣時(shí)間：從規(guī)定的起始?jí)毫ΓㄍǔＪ谴髿鈮?，?0? Pa）抽至系統(tǒng)的目標(biāo)工作壓力（或主泵標(biāo)稱的極限壓力）所需的總時(shí)間。
• 特定壓力區(qū)間抽氣時(shí)間：例如從103 Pa 抽至 10?1 Pa 所需的時(shí)間，用于更精細(xì)地評(píng)估泵在不同壓力段的性能。
• 極限真空度驗(yàn)證：在完成抽氣時(shí)間測(cè)試后，維持抽氣狀態(tài)一段時(shí)間，測(cè)量系統(tǒng)所能達(dá)到的最低穩(wěn)定壓力，驗(yàn)證其是否達(dá)到設(shè)計(jì)或標(biāo)稱要求。
• 抽速估算：結(jié)合已知的被抽容積和測(cè)得的壓力-時(shí)間曲線（p-t曲線），可以估算主泵在特定壓力范圍內(nèi)的有效抽速。

測(cè)試通常在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩或?qū)嶋H應(yīng)用中的真空室上進(jìn)行，需明確記錄測(cè)試時(shí)的環(huán)境溫度、起始?jí)毫c(diǎn)、目標(biāo)壓力點(diǎn)以及測(cè)試罩/腔體的容積。

檢測(cè)儀器

進(jìn)行主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)需要以下關(guān)鍵儀器設(shè)備：

• 真空計(jì)：覆蓋從大氣壓到高/超高真空范圍的寬量程測(cè)量?jī)x器。常用組合包括：
  • 壓阻式真空計(jì)或電容薄膜真空計(jì)：測(cè)量粗真空和低真空范圍（10? Pa ~ 10?1 Pa）。
  • 熱陰極電離真空計(jì)：測(cè)量高真空和超高真空范圍（10?1 Pa ~ 10?? Pa 或更低）。
  需要確保真空計(jì)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)且在有效期內(nèi)。
• 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩（Dome）：具有已知且精確幾何容積（常用如 10L, 100L）的密封腔體，用于提供標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試環(huán)境。其內(nèi)表面應(yīng)光潔、放氣率低。測(cè)試罩通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接主泵入口。
• 計(jì)時(shí)器：高精度電子計(jì)時(shí)器或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)內(nèi)置的時(shí)間記錄功能，精度通常要求達(dá)到0.1秒或更高。
• 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)（DAQ）（推薦）：用于實(shí)時(shí)、連續(xù)地記錄真空計(jì)讀數(shù)和對(duì)應(yīng)的時(shí)間戳，生成壓力-時(shí)間（p-t）曲線，便于后續(xù)分析計(jì)算和報(bào)告生成。
• 閥門：用于隔離測(cè)試罩與主泵、控制測(cè)試的起始（如快速開(kāi)啟閥門開(kāi)始測(cè)試）。
• 溫度傳感器：監(jiān)測(cè)測(cè)試環(huán)境溫度，因?yàn)闇囟葧?huì)影響氣體狀態(tài)和部分真空計(jì)的讀數(shù)。

檢測(cè)方法

主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)通常遵循以下標(biāo)準(zhǔn)步驟：

1. 準(zhǔn)備：
   • 清潔標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩內(nèi)部，確保無(wú)污染物。
   • 將標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩通過(guò)真空法蘭牢固連接到被測(cè)主泵的進(jìn)氣口。確保連接處密封良好（使用合格的密封圈，涂抹適量真空脂）。
   • 在測(cè)試罩上安裝連接好經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的真空計(jì)（量程需覆蓋測(cè)試范圍）和溫度傳感器。
   • 連接數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)（若使用），設(shè)置好采樣頻率（通常1-10Hz）。
   • 確保主泵及其前級(jí)泵（如果適用，如分子泵需要前級(jí)泵）已按操作規(guī)程正常開(kāi)啟并預(yù)熱達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)（特別是油擴(kuò)散泵、分子泵等）。
2. 預(yù)抽空與清潔：
   • 關(guān)閉測(cè)試罩與主泵之間的隔離閥。
   • 對(duì)測(cè)試罩進(jìn)行粗抽（可使用輔助的粗抽泵），達(dá)到較低的壓力（如10Pa量級(jí)或更低），并進(jìn)行適當(dāng)時(shí)間的烘烤或靜態(tài)放置，以降低罩壁放氣的影響。
3. 基線測(cè)量：
   • 將測(cè)試罩通大氣至大氣壓（起始?jí)毫Γ?，穩(wěn)定幾分鐘使罩內(nèi)氣體溫度與環(huán)境平衡。記錄此時(shí)的環(huán)境溫度。
   • 確保真空計(jì)讀數(shù)穩(wěn)定在大氣壓值附近。清零或啟動(dòng)計(jì)時(shí)器/數(shù)據(jù)采集。
4. 啟動(dòng)測(cè)試：
   • 在t=0時(shí)刻，快速打開(kāi)測(cè)試罩與主泵之間的隔離閥（此動(dòng)作需迅速完成，通常小于1秒）。同時(shí)啟動(dòng)計(jì)時(shí)器或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)開(kāi)始記錄。
   • 主泵開(kāi)始對(duì)測(cè)試罩抽氣。
5. 數(shù)據(jù)采集與監(jiān)測(cè)：
   • 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄壓力隨時(shí)間的變化。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)應(yīng)持續(xù)記錄直到壓力達(dá)到并穩(wěn)定在目標(biāo)壓力以下。
   • 需要記錄的關(guān)鍵點(diǎn)包括：起始時(shí)間點(diǎn)（t?, P?=大氣壓）、達(dá)到目標(biāo)壓力P_target的時(shí)間點(diǎn)（t_target）。
6. 確定抽氣時(shí)間：
   • 總抽氣時(shí)間 (T_total)：從閥門開(kāi)啟瞬間（t?）到壓力首次達(dá)到并穩(wěn)定在目標(biāo)壓力P_target所需的時(shí)間（t_target - t?）。
   • 區(qū)間抽氣時(shí)間：分析p-t曲線，計(jì)算壓力從P_start降到P_end所需的時(shí)間（t_end - t_start）。
7. 極限真空度驗(yàn)證（可選但推薦）：繼續(xù)抽氣一段時(shí)間（如30分鐘或1小時(shí)），記錄系統(tǒng)所能達(dá)到的最低穩(wěn)定壓力。
8. 結(jié)束與記錄：
   • 關(guān)閉隔離閥，停止主泵（按操作規(guī)程）。
   • 保存所有測(cè)試數(shù)據(jù)（原始p-t曲線、關(guān)鍵時(shí)間點(diǎn)、溫度、測(cè)試罩容積等）。
   • 恢復(fù)測(cè)試罩至大氣壓。

整個(gè)測(cè)試過(guò)程應(yīng)在環(huán)境溫度相對(duì)穩(wěn)定（如±2°C）的條件下進(jìn)行。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

主泵抽氣時(shí)間檢測(cè)通常參考以下國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了測(cè)試條件、方法、報(bào)告內(nèi)容等，確保測(cè)試結(jié)果的可靠性和可比性：

• 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：
  • ISO 21360-1:2012 Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 1: General description. (真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法 第1部分：概述)
  • ISO 21360-2:2012 ... Part 2: Positive-displacement vacuum pumps. (第2部分：容積真空泵 - 包括旋片泵、滑閥泵、羅茨泵等)
  • ISO 21360-3:2019 ... Part 3: Kinetic vacuum pumps. (第3部分：動(dòng)量傳輸真空泵 - 包括渦輪分子泵、擴(kuò)散泵等)
  這些ISO標(biāo)準(zhǔn)是國(guó)際通用的權(quán)威測(cè)試規(guī)范，明確規(guī)定了使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩測(cè)量泵的抽氣特性（包括抽氣時(shí)間、抽速、極限壓力）的方法。
• 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：
  • GB/T 3163-2007 《真空技術(shù) 容積真空泵性能測(cè)量方法》 等效采用ISO 21360-2。
  • GB/T 19955.1-2005 / GB/T 19955.2-2005 《真空技術(shù) 渦輪分子泵性能測(cè)量方法》 參照ISO標(biāo)準(zhǔn)制定。
  • GB/T 13966-

    檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)證書

    

    CMA認(rèn)證

    檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書

    證書編號(hào)：241520345370

    有效期至：2030年4月15日

    

    CNAS認(rèn)可

    實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書

    證書編號(hào)：CNAS L22006

    有效期至：2030年12月1日

    

    ISO認(rèn)證

    質(zhì)量管理體系認(rèn)證證書

    證書編號(hào)：ISO9001-2024001

    有效期至：2027年12月31日
    主泵抽氣時(shí)間檢測(cè) 水溫試驗(yàn)檢測(cè) 測(cè)量組件長(zhǎng)期穩(wěn)定性檢測(cè) 距離準(zhǔn)確度和距離重復(fù)性檢測(cè) 家化日用品/爽身粉、祛痱子粉檢測(cè) 測(cè)量組件分辨率檢測(cè) 家化日用品/去角質(zhì)啫喱檢測(cè) 測(cè)量組件有效量程檢測(cè) 家化日用品/潤(rùn)膚油檢測(cè) 家化日用品/化妝粉塊檢測(cè) 聯(lián)系我們 壓力表檢測(cè) 瓷磚檢測(cè) 輪胎檢測(cè) 藥品檢測(cè)要去哪里 材料檢測(cè) 中科光析科學(xué)技術(shù)研究所簡(jiǎn)介 家具檢測(cè) 油品檢測(cè) 吸濕性測(cè)定 壓力表檢測(cè) 家具檢測(cè) 鞋類檢測(cè) 中央空調(diào)檢測(cè) HLB值
    下一篇： 返回列表 上一篇： 水溫試驗(yàn)檢測(cè)
    

    關(guān)于我們

    

    部分儀器

    

    合作客戶